a resolução espacial dos dois equipamentos é semelhante.

o poder de resolução espectral dos dois equipamentos é semelhante.

em ambos, as amostras podem apresentar as características rugosas habituais para a observação no microscópio eletrônico de varredura.

os elementos leves (até o boro) só são detectados sem maiores problemas pelo EDS.

o WDS discrimina com mais dificuldade a radiação de fundo