O sinal dos elétrons retroespalhados é o de menor intensidade entre todos os sinais observados, pois os elétrons secundários são gerados nas regiões mais profundas da amostra analisada.

Entre os sinais mais usados em MEV, os sinais de elétrons secundários são os mais absorvidos pela amostra e somente aqueles gerados bem próximo à superfície é que poderão ser capturados pelo detector.

Os sinais dos raios X são aqueles produzidos nas regiões mais externas da amostra analisada.

O detector de energia dispersiva é um dispositivo de estado sólido usado para detectar os raios X e converter sua energia em comprimento de onda.

Os raios X característicos gerados na amostra geralmente não são modificados no seu caminho ao longo da amostra, devido à pequena interação entre os raios X e os átomos constituintes da amostra.